1. 温度控制精度。
2. 恒流源精度。
3. 气体纯度。
4. 流量控制精度。
5. 信号采集精度。
6. 仪器自动化程度。
7. 仪器及软件可操作性。
8. 在线帮助及技术支持。
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说明:
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